| The silicon-containing gas can be silane (SiH4) or disilane (Si2H6) or trichlorosilane (SiHCl3), or a silane-argon gas mixture in which argon is the carrier gas. | В качестве кремнийсодержащего газа может быть использован силан (SiH4), или дисилан (Si2H6) или трихлорсилан (SiHCl3), или силано-аргоновая газовая смесь, в которой аргон является газом-носителем. |