| A lithographic processing simulator is a "software" package used in the design phase to define the sequence of lithographic, etching and deposition steps for translating masking patterns into specific topographical patterns in conductors, dielectrics or semiconductor material. |
Имитатор литографических процессов - это пакет «программного обеспечения», используемый на этапе проектирования для определения последовательности операций литографии, травления и осаждения в целях воплощения маскирующих шаблонов в конкретные топологические рисунки проводников, диэлектриков или полупроводникового материала. |