The measuring beam was reflected at a deeper layer and traveled back through the three retarders to the ellipsometer. | Измеряемый луч отражался на более глубоком слое и возвращался назад через три ретардера в эллипсометр. |
The ellipsometer comprises a polarizer arm PA, an analyzer arm AA, and a system for scanning the light beam of the ellipsometer, said system being realized in the form of four mirrors. | Эллипсометр включает плечо поляризатора ПП, плечо анализатора ПА и систему развертки его светового луча, выполненную в виде четырех зеркал. |